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MG不朽情缘|乱码1234区2021|中国EUV光刻光源技术破冰 打破美企垄断迎

时间:2025-07-27 来源:mg不朽情缘官网光电

  不朽情缘mgღ◈★✿,MG不朽情缘ღ◈★✿,mg不朽情缘ღ◈★✿!不朽情缘模拟器ღ◈★✿,不朽情缘app中国在极紫外(EUV)光刻核心技术领域取得历史性突破ღ◈★✿。2025年4月ღ◈★✿,中国科学院上海光学精密机械研究所(简称“上海光机所”)林楠研究员团队成功研发出基于固体激光器的LPP-EUV光源ღ◈★✿,在能量转换效率(CE)上达到3.42%ღ◈★✿,超越欧美同类型研究水平乱码1234区2021ღ◈★✿,为国产EUV光刻机研发奠定关键技术基础ღ◈★✿。这一成果不仅打破美国Cymer公司在二氧化碳激光驱动光源领域的垄断ღ◈★✿,更标志着中国在芯片制造“卡脖子”环节迈出自主创新的重要一步ღ◈★✿。

  EUV光刻是制造7纳米以下先进制程芯片的核心技术ღ◈★✿,其光源系统堪称光刻机的“心脏”ღ◈★✿。传统EUV光源依赖美国Cymer公司的二氧化碳激光器ღ◈★✿,通过激发锡等离子体产生13.5nm波长的极紫外光ღ◈★✿,能量转换效率需突破5%才能满足商用需求ღ◈★✿。这类技术长期被美方封锁乱码1234区2021ღ◈★✿,导致中国无法获取关键组件ღ◈★✿。

  林楠团队另辟蹊径ღ◈★✿,选择固体脉冲激光器作为驱动光源ღ◈★✿。相较于体积庞大ღ◈★✿、转换效率低于5%的二氧化碳激光器ღ◈★✿,固体激光器具备更高功率密度和紧凑设计优势ღ◈★✿。通过优化激光与锡靶材的相互作用参数ღ◈★✿,团队在1μm波长激光驱动下实现3.42%的能量转换效率ღ◈★✿,虽未达到商用标准ღ◈★✿,但已超越荷兰代尔夫特理工ღ◈★✿、瑞士保罗谢勒研究所等国际团队2%-3%的水平ღ◈★✿,且实验平台理论效率上限有望接近6%ღ◈★✿。

  “我们构建了全新的等离子体激发模型ღ◈★✿,通过纳秒级脉冲精准控制锡滴蒸发过程ღ◈★✿,将能量损失降低40%ღ◈★✿。”林楠在论文中指出ღ◈★✿,固体光源技术路线不仅解决了二氧化碳激光器的供应链风险ღ◈★✿,更适应未来高功率密度的发展趋势ღ◈★✿,目前10千瓦级固体激光器已进入工程测试阶段ღ◈★✿,为光源功率提升提供了明确路径ღ◈★✿。

  此次突破的背后ღ◈★✿,是一支兼具国际视野与工程经验的科研团队ღ◈★✿。作为通讯作者的林楠研究员ღ◈★✿,曾担任荷兰ASML公司光源技术负责人ღ◈★✿,主导过三代EUV光源的研发ღ◈★✿,拥有110余项国际专利ღ◈★✿,其博士阶段师从2023年诺贝尔物理学奖得主Anne lHuillierღ◈★✿,在极紫外光源领域深耕十余年ღ◈★✿。2018年归国后ღ◈★✿,他带领团队在上海光机所搭建起国内首个LPP-EUV光源实验平台ღ◈★✿,先后突破锡靶材均匀喷射ღ◈★✿、等离子体噪声抑制等20余项关键技术ღ◈★✿。

  2025年2月ღ◈★✿,该团队曾在《激光与光电子学进展》发表封面论文ღ◈★✿,提出“空间束缚激光等离子体”方案ღ◈★✿,将极紫外量测光源的转换效率提升至52.5%ღ◈★✿,较商用技术提高六个数量级ღ◈★✿,为芯片缺陷检测设备提供了国产替代方案ღ◈★✿。此次EUV光刻光源的突破ღ◈★✿,正是量测技术积累的延伸应用ღ◈★✿。“我们打通了从基础研究到工程化的技术链条ღ◈★✿,团队中既有来自ASMLღ◈★✿、Cymer的资深工程师ღ◈★✿,也有国内高校的等离子体物理专家ღ◈★✿,这种‘产学研’结合模式加速了技术转化ღ◈★✿。”林楠表示ღ◈★✿。

  目前ღ◈★✿,荷兰ASML垄断全球100%的EUV光刻机市场ღ◈★✿,其NXE系列设备依赖Cymer的二氧化碳光源ღ◈★✿,单台售价超1.5亿美元ღ◈★✿,且对中国实施出口管制ღ◈★✿。中国每年进口的200余台高端光刻机中ღ◈★✿,EUV机型占比不足5%ღ◈★✿,严重制约14nm以下制程芯片的自主生产ღ◈★✿。

  林楠团队的技术突破ღ◈★✿,为国产EUV光刻机研发打开了突破口ღ◈★✿。尽管固体光源驱动的EUV技术仍处于实验阶段ღ◈★✿,但其展现的技术潜力已引起国际关注ღ◈★✿。美国国家标准与技术研究院(NIST)在最新报告中指出ღ◈★✿,中国在固体激光驱动光源领域的进步“可能改变EUV技术的成本结构”ღ◈★✿,预计2030年前或将出现首台搭载国产光源的EUV光刻机原型机ღ◈★✿。

  国内半导体设备厂商已展开联动布局ღ◈★✿。中芯国际ღ◈★✿、华虹半导体等晶圆厂正与上海光机所探讨光源技术对接ღ◈★✿,北方华创ღ◈★✿、中微公司等设备商启动配套零部件研发ღ◈★✿。“如果光源问题解决ღ◈★✿,光刻机整机集成的难度将下降60%ღ◈★✿。”中国半导体行业协会副理事长魏少军分析ღ◈★✿,结合国内在物镜系统ღ◈★✿、掩膜台等领域的现有积累ღ◈★✿,未来五年有望形成EUV光刻机的国产技术方案ღ◈★✿。

  面对中国的技术进步ღ◈★✿,ASML表现出复杂态度ღ◈★✿。在2025年4月的投资者会议上乱码1234区2021ღ◈★✿,其首席财务官戴厚杰承认“中国确实在EUV光源领域取得进展”ღ◈★✿,但同时强调“从光源到整机制备仍有十年以上差距”ღ◈★✿。数据显示ღ◈★✿,2024年ASML对中国销售额达101.95亿欧元ღ◈★✿,占其全球营收36.1%ღ◈★✿,成为第一大市场ღ◈★✿。尽管美国施压要求扩大出口管制ღ◈★✿,ASML仍通过DUV光刻机订单维持在华业务ღ◈★✿,其总裁傅恪礼坦言ღ◈★✿:“封锁只会加速中国自主技术的成熟ღ◈★✿。”

  美国商务部则试图强化技术壁垒ღ◈★✿,计划将固体激光驱动的EUV光源纳入新的出口管制清单ღ◈★✿。对此ღ◈★✿,中国外交部发言人明确回应ღ◈★✿:“美方将科技和经贸问题政治化ღ◈★✿,滥用出口管制措施ღ◈★✿,严重破坏全球产业链供应链稳定ღ◈★✿。中国在光刻技术领域的自主创新ღ◈★✿,是对霸权主义的有力回应ღ◈★✿。”

  业内专家指出乱码1234区2021ღ◈★✿,此次突破不仅是技术层面的胜利ღ◈★✿,更标志着中国在高端装备领域从“跟跑”转向“并跑”ღ◈★✿。正如林楠团队在论文结语中所言ღ◈★✿:“固体光源技术路线的成功ღ◈★✿,证明中国有能力在半导体制造的‘珠峰’上开辟新路径MG不朽情缘ღ◈★✿。尽管前方仍有商用化ღ◈★✿、量产稳定性等挑战ღ◈★✿,但自主创新的引擎一旦启动ღ◈★✿,就不会停止前进的步伐ღ◈★✿。”

  随着上海光机所的技术成果进入工程验证阶段ღ◈★✿,中国半导体产业正谋划更深远的布局ღ◈★✿。国家发改委近期批复的“集成电路装备创新中心”项目ღ◈★✿,将EUV光源及整机集成列为核心攻关方向ღ◈★✿,计划投入200亿元建立“光源-物镜-工件台”全链条研发平台ღ◈★✿。清华大学ღ◈★✿、浙江大学等高校同步启动光刻胶ღ◈★✿、掩膜版等配套材料的攻关MG不朽情缘ღ◈★✿,试图构建自主可控的EUV技术生态ღ◈★✿。

  “这不是单一技术的突破ღ◈★✿,而是整个半导体装备产业集群的升级ღ◈★✿。”中国科学院院士ღ◈★✿、上海光机所所长邵建达表示ღ◈★✿,当固体光源技术与国产沉浸式光刻ღ◈★✿、量测设备形成协同ღ◈★✿,中国有望在2035年前建成完整的先进制程芯片制造体系ღ◈★✿。届时ღ◈★✿,美国的“卡脖子”策略将失去着力点ღ◈★✿,全球半导体产业格局也将因中国的技术自主而迎来更均衡的竞争格局ღ◈★✿。

  从实验室里的锡靶等离子体ღ◈★✿,到未来晶圆厂的EUV光刻机ღ◈★✿,中国科研人员用十年时间走完了欧美二十年的探索之路ღ◈★✿。这一突破背后ღ◈★✿,是对“核心技术买不来ღ◈★✿、等不来”的深刻认知ღ◈★✿,更是科技自立自强的生动实践ღ◈★✿。当EUV光源在东方亮起MG不朽情缘ღ◈★✿,照亮的不仅是硅片上的纳米电路ღ◈★✿,更是中国半导体产业突破封锁ღ◈★✿、迈向深蓝的前行之路ღ◈★✿。

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  大暑是夏季最后一个节气ღ◈★✿,也是一年中阳光最猛烈ღ◈★✿、最炎热的节气ღ◈★✿。广东省名中医ღ◈★✿、广州医科大学附属第三医院中医科主任中医师(二级)冯崇廉表示ღ◈★✿,夏季是阳气最旺的季节ღ◈★✿,养生要顺应夏季阳盛于外的特点ღ◈★✿,注意固护阳气ღ◈★✿,着眼于一个“长”字ღ◈★✿。

  来源:南方+客户端“大暑运金气ღ◈★✿,荆扬不知秋”MG不朽情缘ღ◈★✿。时序流转至盛夏深处ღ◈★✿,“大暑”正以最热烈的姿态ღ◈★✿,彰显着季节的转换时机ღ◈★✿。在广东ღ◈★✿,暑热催熟稻米ღ◈★✿,岭南佳果上新ღ◈★✿,人们也从先辈流传下来的消暑智慧中寻找凉意ღ◈★✿。广东清远阳山县ღ◈★✿,高速公路绕过村庄ღ◈★✿,清晨云雾缭绕ღ◈★✿,远看十分壮观ღ◈★✿。

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